Hitachi High Tech: gana premio IEEE por desarrollo del primer FE-SEM comercial

MIcroscopio electrónico de barrido por emisón de campo

Primer microscopio electrónico de barrido con emisión de campo. HITACHI HFS-2

Contribución a la microscopía de alta resolución SEMs

La intensidad de la fuentes del haz de electrones fue el principal desafío para mejorar las resolución en un microscopio electrónico de barrido. ¿ ¿ ¿Podría la tecnología de emsión de campo, la cual tiene una intensidad muy alta, ser usada para resolver este inconveniente? Esta fue la idea que transformó el camino para lograr un microscopio de ultra alta resolución de barrido de electrones.

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