Sistema de haz de iones y electrones enfocado Ethos NX5000
El Hitachi Ethos FIB-SEM incorpora el FE-SEM de última generación con un brillo y una estabilidad de haz excelentes. Ethos ofrece imágenes de alta resolución a bajos voltajes combinados con óptica iónica para un procesamiento de precisión a nanoescala.
Características Principales:
Columna FE-SEM de alto rendimiento con modo de doble lente
- Observación de ultra alta resolución (modo HR: semi-en-lente)
- Detección de punto final de alta precisión en tiempo real (modo FF: Field Free (modo de tiempo compartido))
Procesamiento de materiales de alto rendimiento
- Procesamiento ultrarrápido con alta densidad de corriente iónica (corriente máxima del haz: 100 nA)
- Script programable por el usuario para procesamiento y observación automáticos
Sistema de micromuestreo
- Control de orientación de muestras totalmente integrado para efecto anti-cortinas (tecnología ACE)
- Preparación de muestras TEM para laminillas uniformes en cualquier orientación
Capacidad de triple haz, que ofrece resultados de calidad avanzados
- Procesamiento de materiales por haz de iones de gases nobles de baja aceleración
- Las funciones innovadoras reducen los artefactos de fresado relacionados con los iones Ga y otros
Gran cámara y escenario multipuerto para diversas aplicaciones
- Sistema de gran tamaño de muestra con una estabilidad de escenario excepcional
- Seguimiento de larga distancia mejorado de rango completo (155 x 155 mm)
Óptica electrónica refinada y detección de señales múltiples
La columna Ethos SEM está compuesta por un sistema de lentes de objetivo compuesto de campo magnético y electrostático configurado como dos modos de lente. El modo de alta resolución (HR) logra la observación de la muestra a la máxima resolución al sumergir la muestra dentro del campo magnético del sistema de lentes. El modo Field Free (FF) ofrece procesamiento FIB en tiempo real para un fresado de punto final de alta precisión. El hiper cambio entre la irradiación FIB y las imágenes SEM tan rápido como 10 nseg ofrece vistas de fabricación y observación en tiempo real con claridad. Las imágenes de mensajería instantánea y SEM rápidas permiten a los usuarios encontrar rápidamente el área de interés con facilidad.
Imágenes SEM de alta resolución
FIB de alto rendimiento
FIB de alta densidad de corriente para procesamiento de alta velocidad y gran área.
El software de piloto automático admite una multitud de funciones automatizadas para imágenes, preparación de laminillas TEM, generación de secciones transversales y más ...
Modo de tiempo compartido
El modo de tiempo compartido es la herramienta definitiva para maximizar la observación de SEM mientras se muele de iones simultáneamente.
Preparación de muestras TEM de alta calidad con tecnología de triple haz
Ethos ofrece potentes soluciones integradas en una sola plataforma, incluido el procesamiento de haz de iones Ar / Xe de baja aceleración cuando se configura como un sistema Triple-Beam.
Cámara de muestra y platina para diversas aplicaciones
- Platina de muestra de nuevo diseño para imágenes de alta resolución.
- Es posible una variedad de configuraciones analíticas con la posición óptima del detector.
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