Como nueva marca de FE-SEM, la línea de la serie Regulus comprende cuatro modelos: Regulus8100, Regulus8220, Regulus8230 y Regulus8240, todos los cuales amplían las funciones de la serie SU8200 con el uso de una plataforma común.
Con sistemas ópticos de electrones optimizados, la nueva serie Regulus presenta resoluciones de hasta 0,5 nm en los modelos Regulus8220 / 8230/8240.
La serie Regulus emplea una nueva pistola de emisión de campo frío (CFE) optimizada para imágenes de alta resolución a bajos voltajes de aceleración. Esta pistola CFE permite ampliar imágenes de alta resolución hasta 2 millones de veces, * 1 en comparación con 1 millón de veces en modelos anteriores.
Las funciones de soporte al usuario también se han mejorado para que el rendimiento avanzado de la serie se pueda aprovechar por completo, incluidas funciones para ayudar al funcionamiento del sistema de detección de señales para analizar diversos tipos de materiales, así como funciones de mantenimiento de dispositivos.
Características
- Pistola de emisión de campo frío (CFE) optimizada para imágenes de alta resolución y bajo voltaje con baja aberración
(Regulus8220 / 8230/8240: 0,7 nm / 1 kV; Regulus8100: 0,8 nm / 1 kV) - Aumento máximo duplicado de 1 millón de veces a 2 millones de veces * 2
- Funciones de soporte al usuario para garantizar un alto rendimiento
Imágenes de HR y ULV
Espécimen: Partícula de oro sobre carbono
Voltaje de aterrizaje: 10 V
Imágenes UHR
Muestra: Catalizador
Tensión de aceleración: 30 kV
Análisis HR y LV EDX
Muestra: Bola de estaño
Voltaje de aterrizaje: 1,5 kV
* 2 Solo en Regulus8220 / 8230/8240
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