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Inicio / Equipos especializados / Microscopios de alta resolución / Microscopios SEM / Microscopio electrónico de barrido SU3800/SU3900

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    Microscopio electrónico de barrido SU3800/SU3900

    Familia:
    Microscopios SEM

    Cámara de muestras sustancialmente más grande, admite muestras de gran tamaño y pesadas

    ■ Platina robusta para flexibilidad en el tamaño, forma y peso de la muestra

    • La secuencia de intercambio de muestras evita posibles daños al sistema o la muestra.
    • Cambie las muestras sin ventilar la cámara de muestras, lo que mejora el rendimiento.
    • Aumente la manipulación de muestras con el modo “Stage Free” *.
    • La “Chamber Scope” mejora la seguridad de los movimientos de la platina*.

    ■ Mayor área de visualización: SEM MAP amplía los límites de la navegación de muestra

    • Pantalla de cámara integrada en la cámara
    • Navegue fácilmente por toda el área observable
    • Rotación orientada al detector

    Evolución tecnológica: funciones automáticas mejoradas para operadores de cualquier nivel de habilidad

    ■ Múltiples modos de operación

    ■ Funciones automáticas para operadores de cualquier nivel de habilidad

    • Algoritmos automáticos mejorados: 3 veces más rápido (en comparación con el modelo S-3500 de Hitachi)
    • Función de enfoque automático mejorada
    • Características de nuestra tecnología patentada de filamento inteligente (IFT):

    ■ Multi Zigzag permite la observación de áreas amplias en múltiples áreas.

    ■ Report Creator genera informes de los datos adquiridos.

    Soluciones integradas para diversas aplicaciones

    ■ Una variedad de accesorios que se pueden montar en cualquiera de los 20 puertos de la innovadora cámara de muestras SU3900.

    ■ Sistema de integración SEM / EDS *

    ■ Detectores de alta sensibilidad que cumplen con todos los requisitos de observación

    • Observación CL usando UVD *
    • BSED segmentado permite visualizar la composición y la topografía.

    ■ Soporte STEM

    ■ Software de modelado 3D: Hitachi map 3D *

    ■ Software de procesamiento, medición y análisis de imágenes: Image-Pro ® para Hitachi

    *Opcional

    La cámara de muestras sustancialmente más grande admite muestras de gran tamaño y pesadas

    ■ Platina robusto para flexibilidad en el tamaño, la forma y el peso de la muestra

    • La secuencia de intercambio de muestras evita posibles daños al sistema o la muestra.
      El procedimiento para el intercambio de muestras se puede realizar consultando la interfaz gráfica de usuario para evitar el riesgo de daños debido a errores humanos, incluso con muestras irregulares o grandes.
    • Cámara de intercambio de muestras *
      Cambie la muestra sin ventilar la cámara de muestras, lo que mejora el rendimiento.
    • Aumente la manipulación de la muestra con la función de cancelación de restricción de movimiento de la platina*.
      El SU3800 / SU3900 se puede configurar con la función de cancelación de restricción de movimiento de platina*, que aumenta la flexibilidad del movimiento. El operador puede mover la platina según sus requisitos de imágenes sin restricciones.
      Nota: Cuando se utiliza la función de cancelación de restricción de movimiento de la platina, se debe usar precaución y el osciloscopio de la cámara para garantizar un funcionamiento seguro.
    • La Chamber Scope mejora la seguridad de los movimientos de la platina *.
      Chamber Scope es un dispositivo para monitorear el interior de la cámara de muestras. Mediante el uso de una cámara infrarroja, el interior de la cámara de muestras se puede controlar durante la observación de imágenes SEM. También es posible ampliar la Chamber Scope y ver la posición de la muestra con mayor claridad.

    *Opcional

    ■ Mayor área de visualización: SEM MAP amplía los límites de la navegación de muestra

    • Pantalla de cámara integrada en la pantalla
      SEM MAP, ahora en la cámara, ofrece una cámara de navegación gran angular * dentro de la interfaz gráfica de usuario. Al especificar la posición del objetivo de observación en SEM MAP, el operador puede mover la platina sin problemas a cualquier posición dentro del área observable y cambiar de una imagen en color de amplio campo de visión a una imagen SEM de gran aumento al acercar y alejar libremente el zoom. Se puede importar cualquier imagen y utilizar esta capacidad.*Opcional
    • Navegue fácilmente por toda el área observable
      Se obtienen imágenes SEM MAP de área amplia uniendo numerosas imágenes. Navegue a cualquier ubicación de las áreas observables, 127 mm de diámetro / 200 mm de diámetro. (SU3800 / SU3900) con un solo clic. Si es necesario, la platina rotará automáticamente durante la navegación.
    • Rotación orientada al detector
      La interfaz gráfica de usuario facilita la comprensión visual de la orientación entre la muestra y los detectores, lo que permite al operador navegar sin problemas por las regiones de interés, incorporando la rotación. Durante la observación / análisis de muestras con irregularidades topográficas, la rotación de la platina y la dirección del escaneo mientras se mira el SEM MAP alivia desafíos, como la influencia de las sombras.

    Evolución del mercado: funciones automáticas mejoradas para operadores de cualquier nivel de habilidad

    ■ Múltiples modos de operación

    Cuenta con una interfaz gráfica de usuario que ofrece un funcionamiento sencillo y flexibilidad al:

    • Capacidad para controlar la navegación por la platina y las condiciones de observación mediante el mouse
    • Usando la pantalla táctil y / o el panel de control
    • Gran ventana principal a 1280 x 960 píxeles
    • Visualización simultánea para diferentes tipos de señales

    ■ Funciones automáticas para operadores de cualquier nivel de habilidad

    • Navegue fácilmente por toda el área observable (en comparación con el modelo S-3700N de Hitachi)
      Una vez completada la configuración de la muestra, se automatizan varios ajustes de imagen (AFS / ABCC / AFC / ASC), de modo que las imágenes de muestra se pueden adquirir inmediatamente después de comenzar la observación.Funciones automatizadas:
      AFS = Saturación de filamentos
      ABCC = Corrección de contraste de brillo
      AFC = Corrección de enfoque
      ASC = Corrección de estigmaGracias a las funciones automáticas de alta velocidad basadas en nuevos algoritmos de diseño, el tiempo para ejecutar las funciones de ajuste automático de imagen es 3 veces más corto en comparación con el modelo anterior. ¡La adquisición de datos de alta calidad es más rápida que nunca!
    • Función de enfoque
      automático mejorada El algoritmo de enfoque automático mejorado ahora facilita aún más la adquisición rápida de imágenes de alta calidad, especialmente para muestras planas.
    • Características de nuestra tecnología patentada de filamento inteligente (IFT):
      • La supervisión y el control automáticos del estado del filamento garantizan una larga vida útil del mismo.
      • El monitoreo y la retroalimentación en tiempo real muestran la vida restante del filamento.

    Con esta función, el operador puede utilizar el dispositivo con confianza incluso para la observación continua a largo plazo, como el análisis de partículas.

    ■ Multi Zigzag * permite la observación de áreas amplias en múltiples áreas

    La función Zigzag permite la adquisición automática de un campo de visión continuo. La función Multi Zigzag permite la configuración de zigzag en múltiples ubicaciones en la plataforma de muestra, lo que permite la adquisición de múltiples imágenes de gran aumento en regiones de interés seleccionables por el usuario. Estas imágenes se pueden montar para crear micrografías de píxeles densos conectando las imágenes adquiridas con la función Visor.

    *Opcional

    • Report Creator genera informes de los datos adquiridos
      Report Creator puede exportar datos a plantillas personalizables por el usuario, no solo para imágenes SEM sino también para imágenes adquiridas, como datos EDS e imágenes de cámaras CCD. Los informes creados se pueden guardar y editar en cualquier formato de Microsoft® Office.

    Soluciones integradas para diversas aplicaciones

    ■ Una variedad de accesorios que se pueden montar en cualquiera de los 20 puertos de la innovadora cámara de muestras SU3900.

    El SU3900 está equipado con una gran cámara de muestras multipropósito para permitir la observación de muestras grandes.

     

    ■ Sistema de integración SEM / EDS *

    El sistema de integración SEM / EDS recientemente desarrollado unifica la ubicación de la platina, el establecimiento de condiciones, el análisis, los informes y una serie de operaciones desde la interfaz gráfica de usuario SEM del SU3800 / SU3900. Controlar todo desde la interfaz gráfica de usuario SEM mejora el rendimiento y reduce las tareas del operador.

    *Opcional

    ■ Detectores de alta sensibilidad que cumplen con todos los requisitos de observación

    • Observación CL usando UVD *

    El SU3800 / SU3900 cuenta con un UVD de alta sensibilidad. El UVD puede adquirir imágenes e información de Catodoluminiscencia con información de electrones secundarios al detectar la luz generada por las colisiones de electrones secundarios y moléculas de gas residual aceleradas por un electrodo de polarización.

    • BSED segmentado permite visualizar la composición y la topografía

    Con un diseño de 5 segmentos, es posible observar imágenes de composición, imágenes 3D e imágenes topográficas desde 4 direcciones sin rotación de la muestra. Debido al diseño y la alta sensibilidad del detector, es posible obtener imágenes de alta resolución con una mejor retención de S / N.

    ■ Soporte STEM (opcional)

    • Obtenga fácilmente imágenes transmitidas en muestras delgadas
      El soporte STEM recientemente desarrollado se puede utilizar para realizar imágenes de transmisión
      con Hitachi UVD. Se pueden obtener imágenes de muestras delgadas o biológicas.

    * UVD es una función de SU3800 y SU3900.
    Muestra: CNT
    Tensión de aceleración: 30 kV
    Señal de imagen: STEM
    Ampliación: 30.000x

    Muestra: sección del nervio ciático
    Voltaje de aceleración: 30 kV
    Señal de imagen: STEM
    Ampliación: 10,000x

    ■ Software de modelado 3D: Hitachi map 3D *

    Hitachi map 3D combina automáticamente 4 imágenes adquiridas desde diferentes direcciones utilizando el detector de electrones retrodispersados ​​para construir un modelo 3D. Son posibles mediciones como altura entre dos puntos, volumen y rugosidad superficial simple (rugosidad del área, rugosidad de la línea, etc.). Dado que todos los datos de electrones retrodispersados ​​se recopilan en una sola adquisición, no es necesario inclinar la muestra o ajustar el campo de visión.

    ■ Software de procesamiento, medición y análisis de imágenes: Image-Pro ® para Hitachi

    El SU3800 / SU3900 cuenta con IPI, que transfiere imágenes SEM a un software de procesamiento de imágenes avanzado (Image-Pro ® fabricado por Media Cybernetics Inc.). El operador puede transferir datos de imágenes SEM a un sofisticado software de análisis de imágenes con un solo clic.

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    Modelo SU3800† SU3900†
    Aumento × 5 a × 300.000 (ampliación de imagen * 1) × 5 a × 300.000 (ampliación de imagen * 1)
    × 7 a × 800.000 (ampliación de la pantalla real * 2) × 7 a × 800.000 (ampliación de la pantalla real * 2)
    Voltaje de aceleración 0,3 kV hasta 30 kV 0,3 kV hasta 30 kV
    Configuración del modo de vacío bajo 6 hasta 650 Pa 6 hasta 650 Pa
    Desplazamiento de imagen ± 75 µm (WD = 10 mm) ± 75 µm (WD = 10 mm)
    Tamaño máximo de la muestra Φ 200 mm Φ 300 mm
    Etapa de la muestra X 0 hasta 100 mm 0 hasta 150 mm
    Y 0 hasta 50 mm 0 hasta 150 mm
    Z 5 hasta 65 mm 5 hasta 85 mm
    R 360 ° en modo continuo 360 ° en modo continuo
    T -20 a + 90 ° -20 a + 90 °
    Alcance máximo móvil Φ 130 mm (en combinación con R) Φ 200 mm (en combinación con R)
    Altura máxima móvil 80 mm (ancho = 10 mm) 130 mm (ancho = 10 mm)
    Accionamiento por motor Accionamiento por motor de 5 ejes Accionamiento por motor de 5 ejes
    Óptica electrónica Pistola de electrones Filamento de horquilla de tungsteno tipo cartucho precentrado Filamento de horquilla de tungsteno tipo cartucho precentrado
    Apertura de lente objetivo Apertura móvil de 4 orificios Apertura móvil de 4 orificios
    Detectores Detector de electrones secundarios, detector de electrones retrodispersados ​​de semiconductores sensibles Detector de electrones secundarios, detector de electrones retrodispersados ​​de semiconductores sensibles
    WD para análisis EDX WD = 10 mm (TOA = 35 °) WD = 10 mm (TOA = 35 °)
    Visualización de imagen Alineación automática del eje. Función Control de haz: automático (AFS → ABA → AFC → ABCC) Control de haz: automático (AFS → ABA → AFC → ABCC)
    Ajuste del eje óptico: automático (alineación actual) Ajuste del eje óptico: automático (alineación actual)
    Brillo del haz: automático Brillo del haz: automático
    Función de ajuste automático de imagen Control automático de brillo y contraste (ABCC) Control automático de brillo y contraste (ABCC)
    Control de enfoque automático (AFC) Control de enfoque automático (AFC)
    Estigma y enfoque automáticos (ASF) Estigma y enfoque automáticos (ASF)
    Saturación automática de filamentos (AFS) Saturación automática de filamentos (AFS)
    Alineación automática del haz (ABA) Alineación automática del haz (ABA)
    Inicio automático (HV-ON → ABCC → AFC) Inicio automático (HV-ON → ABCC → AFC)
    Función auxiliar de operación Rotación de trama, enfoque dinámico, función de mejora de imagen, entrada de datos (medición de punto a punto, medición de ángulo, textos), ampliación preestablecida, función de navegación de posicionamiento de escenario (SEM MAP), función de marcado de haz Rotación de trama, enfoque dinámico, función de mejora de imagen, entrada de datos (medición de punto a punto, medición de ángulo, textos), ampliación preestablecida, función de navegación de posicionamiento de escenario (SEM MAP), función de marcado de haz
    Función opcional ■ Hardware: bola de seguimiento, joystick, panel de operación, compresor, detector ultrasensible de vacío bajo (UVD), visor de cámara, sistema de navegación de cámara ■ Software: administrador de datos SEM, interfaz de comunicación externa, captura 3D, modo sin escenario, integración EDS ■ Hardware: bola de seguimiento, joystick, panel de operación, compresor, detector ultrasensible de vacío bajo (UVD), visor de cámara, sistema de navegación de cámara ■ Software: administrador de datos SEM, interfaz de comunicación externa, captura 3D, modo sin escenario, integración EDS
    Opciones (para dispositivos externos) Espectrometría de rayos X de dispersión de energía (EDS), Espectrometría de rayos X de dispersión de longitud (WDS), Varias etapas externas (etapa de calentamiento, etapa de enfriamiento, etapa de tracción) Espectrometría de rayos X de dispersión de energía (EDS), Espectrometría de rayos X de dispersión de longitud (WDS), Varias etapas externas (etapa de calentamiento, etapa de enfriamiento, etapa de tracción)

    * 1: Establezca la ampliación con 127 mm x 95 mm (tamaño de imagen de 4 «x 5») como tamaño de visualización.

    * 2: Establezca la ampliación con 509,8 mm x 286,7 mm (1920 x 1080 píxeles) como tamaño de pantalla.

    † Consulte con nuestros especialistas sobre las versiones disponibles

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